根據被抽真空系統的大小及極限壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比在4：1至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統及長時間在低壓入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級進口管道上安有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現聯動，當滑閥泵停泵時，向泵口充氣，確保滑閥泵內的真空油返回到油箱內，同時防止真空系統不受真空油污染。
 

　　羅茨滑閥真空機組的種類繁多，在選型時特別要注意：

　　1、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境的影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

　　2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的真空泵或真空機組。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，首先選擇耐腐蝕允許部分顆粒或蒸汽的真空泵，還可以考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

　　3、所選真空泵或真空機組在其正常工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中所產生的全部氣體量，高真空羅茨滑閥真空機組否則影響真空度。

　　4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種真空泵不能滿足抽氣要求，需要幾種真泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。